儀器資訊丨108 Auto Sputter Coater 108A 小型離子濺射儀
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? 108A 小型離子濺射儀
108A 小型離子濺射儀是較為常用的樣品導(dǎo)電預(yù)處理設(shè)備，主要應(yīng)用于掃描電子顯微（SEM）和X射線微觀分析等儀器的樣品前處理階段。其工作原理是在真空條件下，用高速離子轟擊靶材，使靶材原子濺射出來(lái)，遷移到樣品表面形成鍍膜，以增加樣品的導(dǎo)電性。在實(shí)際應(yīng)用中，可根據(jù)不同的樣品特性和觀察目的來(lái)選配不同材質(zhì)的靶材。
? 產(chǎn)品特性
1、提供“自動(dòng)”和“手動(dòng)”兩種操作模式。2、可以通過(guò)參數(shù)控制或膜厚監(jiān)控儀（選配）來(lái)實(shí)現(xiàn)鍍膜的可重復(fù)性。3、可根據(jù)成膜速率和真空度調(diào)控工作電流，以獲得高質(zhì)量鍍膜效果。4、采用直流磁控管“低壓低溫”濺射，減少對(duì)試樣的熱影響。5、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，可快速更換濺射靶材。?產(chǎn)品參數(shù)
技術(shù)參數(shù)表 | |
腔體尺寸 | 120mm OD×120mm height(4.75x 4.75") |
靶材 | 標(biāo)配Au 選配Au:Pd, Pt, Pt:Pd 規(guī)格57mm dia×0.1mm thick |
樣品臺(tái) | 12 孔SEM 釘型樣品臺(tái)支架 高度60mm可調(diào) |
真空度 | 大氣壓 - 0.001mb |
工作電壓 | 200-240V, 50Hz |
工作功率 | 300W |
? MTM-10高分辨膜厚檢控儀 （ 選配 ）
該產(chǎn)品是通過(guò)收集頂部石英晶體的振蕩頻率的變化信號(hào)來(lái)檢測(cè)濺射膜厚。分辨率為0.5nm。可原位量化濺射膜厚，便于實(shí)現(xiàn)鍍膜的可重復(fù)性。
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